วงแหวนนำกราไฟท์ความดันไอโซสแตติกความบริสุทธิ์สูง-เป็นส่วนประกอบการทำงานหลักของระบบสนามความร้อนของเตาซิลิกอนผลึกเดี่ยวแบบดึงตรง (CZ) ผลิตจากกราไฟท์เทียมความดันไอโซสแตติกที่มีความบริสุทธิ์สูง 4N/5N อย่างแม่นยำ 4N/5N และส่วนใหญ่จะติดตั้งไว้เหนือเบ้าหลอมกราไฟท์ ที่ด้านในและด้านนอกของท่อนำ และรอบๆ ช่องดึงคริสตัล
อุปกรณ์ทำงานเป็นเวลานานในสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่มีบรรยากาศเฉื่อยของก๊าซอาร์กอนที่อุณหภูมิตั้งแต่ 1,400 ถึง 1,600 องศาเซลเซียส หน้าที่หลัก ได้แก่ การควบคุมการไหลของก๊าซ การจำกัดสนามความร้อน การวางตำแหน่งแท่งคริสตัล ป้องกันการกระเด็นของไอซิลิคอน และป้องกันการปนเปื้อนของสิ่งเจือปน
ตำแหน่งการติดตั้งและรูปแบบโครงสร้าง
ตำแหน่งการติดตั้งทั่วไป
มันถูกวางไว้ในส่วนบนของสนามความร้อนของเตาผลึกเดี่ยว ระหว่างพื้นผิวของเหลวซิลิกอนหลอมเหลวและฝาครอบฉนวนด้านบน ล้อมรอบแท่งคริสตัลเมล็ดและแท่งซิลิคอนผลึกเดี่ยวที่กำลังเติบโต บางรุ่นจะใช้ร่วมกับท่อนำการไหล
โครงสร้างหลัก
โครงสร้างรูปทรงวงแหวนโดยรวม- แบ่งออกเป็นประเภทวงแหวนรวม ประเภทผสมแยก ประเภทการวางตำแหน่งขั้น และประเภทนำการไหลของอากาศหลาย- รู ตามประเภทของเตาขนาด 12-28 นิ้วที่แตกต่างกัน สามารถแปรรูปร่องและโครงสร้างอื่นๆ ที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่ ผนังบาง- และรูปทรงพิเศษได้ โดยมีความทนทานต่อการประมวลผลสูงถึง ±0.01 มม.
ประสิทธิภาพก้าวกระโดด ความแม่นยำและเสถียรภาพ
คำแนะนำการไหลของอากาศ: ควบคุมทิศทางการไหลของการป้องกันก๊าซอาร์กอนในเตาเผาเพื่อให้ก๊าซไหลเวียนไปตามเส้นทางที่กำหนดไว้ล่วงหน้า ขจัดสิ่งสกปรกและความร้อนที่ระเหยออกจากพื้นผิวของเหลวซิลิกอน และทำให้บรรยากาศภายในเตามีเสถียรภาพ
การจำกัดสนามความร้อน: การใช้กราไฟท์เป็นฉนวนที่ดีเยี่ยมและคุณสมบัติการนำความร้อน ช่วยจำกัดสนามอุณหภูมิในแนวรัศมี ลดความแตกต่างของอุณหภูมิภายในเตาเผา และป้องกันไม่ให้แท่งคริสตัลเกิดการเคลื่อนตัวและรอยแตกเนื่องจากความแตกต่างของอุณหภูมิในท้องถิ่นที่ผิดปกติ
คำแนะนำขีดจำกัดทางกลไก: จัดให้มีการวางตำแหน่งในแนวรัศมีสำหรับแท่งซิลิคอนผลึกเดี่ยวในระหว่างการดึง เพื่อป้องกันไม่ให้แท่งคริสตัลแกว่งหรือเอียง ตรวจสอบให้แน่ใจว่าแท่งคริสตัลเติบโตในแนวตั้งและในแนวแกนร่วม และลดข้อผิดพลาดในการผลิต เช่น การแตกหักและแท่งคดเคี้ยว
หลักการทำงานหลัก
การป้องกันสิ่งกีดขวาง: ป้องกันการกระเด็นของไอซิลิกอนอุณหภูมิสูง-และผงคาร์บอน โดยหลีกเลี่ยงการยึดติดกับแท่งคริสตัล ชิ้นส่วนฉนวนด้านบนของตัวเตา และหน้าต่างสังเกตด้วยแสง เพื่อให้มั่นใจว่ากระบวนการดึงคริสตัลมีความต่อเนื่องและมีเสถียรภาพ
การปกป้องที่สะอาด: สารตั้งต้นที่มีความบริสุทธิ์สูง-ไม่ปล่อยสิ่งเจือปนที่เป็นอันตราย ป้องกันไม่ให้สิ่งเจือปนจากโลหะและเถ้าผสมกับสารหลอมเหลวของซิลิคอนและแท่งคริสตัลตั้งแต่แรกเริ่ม
ลักษณะประสิทธิภาพหลัก (พร้อมการรองรับข้อมูล)
(1) ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ- ความสะอาดขั้นสุดยอด (ข้อได้เปรียบหลัก)
ด้วยการใช้เทคโนโลยีการทำให้บริสุทธิ์อย่างล้ำลึกที่อุณหภูมิสูง- ปริมาณคาร์บอนคงที่จะมากกว่าหรือเท่ากับ 99.99% (4N) และสำหรับรุ่นพรีเมียมนั้นสามารถเข้าถึง 99.999% (5N) ปริมาณเถ้าน้อยกว่าหรือเท่ากับ 50 ppm และสิ่งเจือปนของโลหะ (Fe, Al, Ca, Cu ฯลฯ) น้อยกว่าหรือเท่ากับ 1 ppm ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่มีอุณหภูมิสูง- ไม่มีการระเหยหรือไอโลหะ ซึ่งจะไม่ปนเปื้อนซิลิคอนที่ละลายและแท่งซิลิกอนที่เป็นผลึกเดี่ยว- ช่วยให้มั่นใจได้ถึงอายุการใช้งานของพาหะส่วนน้อยและประสิทธิภาพการแปลงโฟโตอิเล็กทริกของเวเฟอร์ซิลิคอน และตรงตาม-ข้อกำหนดการประมวลผลความบริสุทธิ์สูงของเซลล์แสงอาทิตย์และเซมิคอนดักเตอร์
(2) การกดแบบ Isostatic, isotropic, โครงสร้างที่มั่นคง
การขึ้นรูปแบบสามมิติแบบไอโซสแตติกแบบเย็น-ด้วยความหนาแน่นของวัสดุสม่ำเสมอและไม่มีทิศทาง ความหนาแน่นของปริมาตรอยู่ที่ 1.85~1.95 g/cm³ คุณสมบัติทางกลและทางความร้อนมีความสม่ำเสมอในทุกทิศทาง และไม่บิดเบี้ยว เปลี่ยนรูป หรือแตกร้าวภายใต้-การหมุนเวียนของอุณหภูมิสูง-ในระยะยาว โดยคงขนาดขีดจำกัดที่แม่นยำไว้
(3) ทนต่ออุณหภูมิที่สูงมาก- มีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยม และต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน
ภายใต้บรรยากาศสุญญากาศ/เฉื่อยของอาร์กอน อุณหภูมิการใช้งานระยะยาว-คือ 1400~1600 องศา และความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงสุดสามารถเข้าถึง 2200 องศา ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนอยู่ที่ 4.0~4.8×10⁻⁶ / องศา (อุณหภูมิห้องถึง 1,500 องศา) โดยมีการขยายตัวและการหดตัวจากความร้อนเพียงเล็กน้อยมาก เมื่อเผชิญกับการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิบ่อยครั้งและการทำความเย็นและความร้อนอย่างรวดเร็วของเตาคริสตัลเดี่ยว- ทำให้สามารถใช้งานได้อย่างเสถียรเป็นเวลานาน โดยไม่เสี่ยงต่อการแตกร้าวหรือหลุดออก
ใครเลือกเรา?
1. เทคโนโลยีขั้นสูง: การเรียนรู้เทคโนโลยีหลักของกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง-อย่างเป็นอิสระ บรรลุมาตรฐานความบริสุทธิ์ 4N/5N และการเคลือบได้รับการพัฒนาอย่างอิสระและทนทานมากขึ้น
2. คุณภาพมีเสถียรภาพ: การควบคุมคุณภาพกระบวนการ-เต็มรูปแบบ + การรับรองระดับสากล พร้อมด้วยความแม่นยำด้านมิติสูงและประสิทธิภาพการทำงานที่อุณหภูมิสูง-ที่เสถียร
3. การปรับแต่งอย่างรวดเร็ว: เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์กับเตาเผาทุกประเภทขนาด 12-28 นิ้ว สามารถผลิตตัวอย่างได้ภายใน 7 วัน และจัดส่งเป็นชุดได้ภายใน 15 วัน
4. ต้นทุน-มีประสิทธิภาพ: ห่วงโซ่อุปทานแนวดิ่ง ราคาต่ำกว่าสินค้านำเข้าถึง 30% พร้อมส่วนลดสำหรับการสั่งซื้อจำนวนมาก
5. บริการที่เป็นเลิศ: การสนับสนุนทางเทคนิคสองภาษา- + พิธีการศุลกากรที่เป็นไปตามข้อกำหนด + 1- รับประกันปี รับรองโดยลูกค้าชั้นนำ
โซลูชันครบวงจร-เดียว
ทีมงานมืออาชีพ
คุณภาพสูง
| รายการ | ค่าทั่วไป | หมายเหตุ |
|---|---|---|
| ความบริสุทธิ์ของคาร์บอน | มากกว่าหรือเท่ากับ 99.99% (4N) / มากกว่าหรือเท่ากับ 99.999% (5N) | สิ่งเจือปนทั้งหมดน้อยกว่าหรือเท่ากับ 100 ppm (4N) น้อยกว่าหรือเท่ากับ 10 ppm (5N) |
| ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | 1.85–1.95 ก./ซม.3 | สกัดเย็นแบบไอโซสแตติก เกรนละเอียด และไอโซโทรปิก |
| ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | มากกว่าหรือเท่ากับ 45 MPa | กำลังรับแรงอัดมากกว่าหรือเท่ากับ 80 MPa |
| เนื้อหาเถ้า | น้อยกว่าหรือเท่ากับ 50 ppm | ประมวลผลการทำให้บริสุทธิ์ด้วยอุณหภูมิสูง- |
| CTE (RT ~ 1500 องศา) | 4.0–4.8×10⁻⁶ / องศา | ความเสถียรของมิติที่ดีและทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน |
| การนำความร้อน | 120–150 W/(m·K) | กระจายความร้อนสม่ำเสมอ |
| ความต้านทาน | 8–15 μΩ·m | แม้กระทั่งการนำไฟฟ้า |
| อุณหภูมิในการทำงานต่อเนื่อง | 1400~1600 องศา (สุญญากาศ/อาร์) | สูงสุด 2200 องศาภายใต้บรรยากาศเฉื่อย |
| อุณหภูมิสูงสุด ในอากาศ | น้อยกว่าหรือเท่ากับ 450 องศา (ไม่เคลือบผิว) | สูงถึง 1800 องศา พร้อมการเคลือบ SiC |
| ขนาดเกรน | น้อยกว่าหรือเท่ากับ 10 ไมโครเมตร | โครงสร้างที่หนาแน่นสำหรับการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำสูง |
| การเคลือบเสริม | SiC / PYC (ไพโรไลติกคาร์บอน) | ป้องกัน-การแทรกซึมของซิลิคอน อายุการใช้งานยาวนานขึ้น |
ป้ายกำกับยอดนิยม: แหวนแนะนำกราไฟท์ isostatic มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับเตาคริสตัลเดี่ยว cz ประเทศจีนแหวนแนะนำไฟท์ isostatic มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับผู้ผลิตเตาคริสตัลเดี่ยว cz ซัพพลายเออร์ โรงงาน, แม่พิมพ์หล่อขึ้นรูปโลหะผสมแมกนีเซียมและอลูมิเนียม, แม่พิมพ์กราไฟท์, แม่พิมพ์กราไฟต์, แม่พิมพ์ปิรามิดกราไฟท์, แม่พิมพ์กราไฟต์คุณภาพสูง, กราไฟท์หล่อโลหะ
