กราไฟท์เกรดเซมิคอนดักเตอร์

ปริมาณคาร์บอนมากกว่าหรือเท่ากับ 99.99% ด้วยการบำบัดด้วยพลาสมา สิ่งเจือปนจะถูกกำจัดออก เป็นไปตามข้อกำหนดที่เข้มงวดเพื่อความสะอาดระดับสูงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และป้องกันการปนเปื้อนบนพื้นผิวเวเฟอร์

ค่าการนำความร้อนสูงถึง 200-300 W/m·K ถ่ายเทพลังงานความร้อนได้อย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ ช่วยให้มั่นใจในการกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอของแผ่นเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูง และลดการสูญเสียผลผลิต

ทนต่ออุณหภูมิสูง 1,500 องศา และการกัดกร่อนของกรดและด่างที่รุนแรง เหมาะสำหรับกระบวนการที่ซับซ้อน เช่น การหลอมแผ่นเวเฟอร์ สารกึ่งตัวนำ การสะสม และการกัด เพื่อยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์

เนื่องจากเป็นวัสดุของห้องทำความร้อน จึงสามารถทนต่อความผันผวนของอุณหภูมิที่รุนแรงได้ จึงมั่นใจได้ถึงเสถียรภาพทางความร้อนของแผ่นเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การหลอมและการเผาผนึก

เมื่อรวมคุณลักษณะแรงเสียดทานต่ำของกราไฟท์เข้าด้วยกัน จึงเหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง-เพื่อให้ความร้อนที่อุณหภูมิสูง- ซึ่งช่วยลดการปนเปื้อนที่เกิดจากการดูดซับก๊าซ

ให้ความร้อนที่รวดเร็วและสม่ำเสมอผ่านการนำความร้อนสูง ปรับปรุงประสิทธิภาพของกระบวนการบรรจุภัณฑ์และลดต้นทุนการใช้พลังงาน